成膜不良基板、ダミー基板の再使用を可能に

再生したガラスを再度成膜用のダミーガラスとしてリサイクル液晶基板の製造やタッチパネルの製造を始めとする産業には、それぞれ別の機能を持った膜を多層に形成するプロセス(成膜)を必要とする分野が多くあります。成膜を行う際、ほとんどの場合はダミー基板と呼ばれるガラスに一度成膜し、異常発生の有無などを確認した後に実製品を流動しています。しかしこのダミー基板は使用後の用途がなく廃棄されており、また実製品についても、装置トラブルなどにより成膜不良が発生した場合は廃棄されています。
当社では、ダミー基板および成膜不良基板を自社プロセスにより素ガラスに再生してお客様へ返却、再生したガラスを再度成膜用ダミー基板としてリサイクルしていただいています。

成膜剥離加工(ガラス再生加工)

特長

最適な薬品選択による確実な処理

成膜不良やダミー基板の膜構成は一様ではなく、様々なパターンがあります。
当社では、それぞれの膜構成に対して、表面処理技術や様々なノウハウを活かして最適な薬品を選択し、不要な膜を剥離除去して成膜前のガラス状態に戻しています。また、一部の膜構成においては膜を残す処理も可能となります。これまでに、CF(カラーフィルター)、PI(配向)膜、金属膜(ITO、AI、Ti、Cr)、シール材などの処理実績があります。

最適な薬品選択による確実な処理

大きな基板サイズへの対応も可能

流動できる基板サイズは 1,100mm×1,300mmまでと、大きな基板サイズへの対応も可能です。

サイズ 〜1,100mm×1,300mm
板厚 0.5t〜要確認
剥離可能な膜 ITO膜、CF膜、PI膜、金属膜(ITO、AI、Ti、Cr)

COPQを削減

お客様のガラスの購入頻度が減ることで、COPQ(cost of poor quality)を削減できます。

産業廃棄物を削減

これまで破棄されていた不良基板、使用済ダミー基板が本処理により再利用が可能になり、産業廃棄物とその処理費用を削減できます。

用途・適用分野・応用分野

従来は、液晶基板のCF(カラーフィルター)基板、TFT(薄膜トランジスタ)基板を始めとした液晶関連のガラス基板の剥離再生を中心に剥離加工を行っていましたが、近年では基板以外への加工ニーズも多くいただいています。下記のような分野でお困りの場合はご相談くだされば、剥離方法を検討させていただきます。

具体例
  • レジスト、塗料など有機膜が塗布された基板の剥離再生
  • 太陽電池等の金属スパッタ層の剥離再生
  • 配線パターン等の形成処理