高アスペクト比のガラス貫通孔を大型基板で実現!

特長

開口率の高い、高アスペクト比の貫通孔

液晶ディスプレイ、半導体デバイス、2.5Dインターポーザー、3D実装パッケージなどへの適用可能なガラスホールを高アスペクト比・高開口率で提供します。

開口率の高い、高アスペクト比の貫通孔

TGV基板の表面/断面

開口率の高い、高アスペクト比の貫通孔

TGVの断面の様子

ガラス種 無アルカリガラス、アルカリガラス、石英、耐熱ガラス
ガラスサイズ 120mm×120mm〜730mm×920mm
ガラスの厚み 0.05mmt〜1.65mmt
穴種 貫通穴(真円、楕円)
非貫通穴(真円、楕円)
穴形状 垂直型 砂時計型 逆円錐型
穴径 穴径垂直型 Φ1000μm以上
砂時計型Φ20〜200μm
逆円錐型Φ20μm以上
*板厚制限有
穴ピッチ 表面径×10% + 15μm
穴位置精度 ±15μm以下
アスペクト比 最大 10:1(ガラス板厚/穴径)
*ガラス種制限有
砂時計型TGVの各板厚における作成可能なアスペクト比

上記グラフは砂時計型TGVの各板厚における作成可能なアスペクト比を示しています。

開口率とは

用途・適用分野・応用分野

具体例
  • 2.5Dインターポーザー、3D実装パッケージ
  • 液晶用ディスプレイ
  • 半導体デバイス など

ガラス銅メッキ

TGV等のガラスへの銅メッキ

TGVと共に開発を行い、ガラスへのメッキ加工が可能となりました。TGV側壁への「コンフォーマルメッキ」、ホール内に充填する「フィリングメッキ」の加工を承ります。

コンフォーマルメッキ
コンフォーマルメッキ
フィリングメッキ
フィリングメッキ

高密着かつ高信頼性

メッキ処理後の基板でクロスカット試験を行い評価しています。メッキされた銅は強く密着しており、剥がれません。

ガラス銅めっき スペック

メッキ種

コンフォーマルメッキ

フィリングメッキ

ガラス種

無アルカリガラス、アルカリガラス、石英ガラス、耐熱ガラス

ガラスサイズ

50mmx50mm ~ 400mmx500mm

50mmx50mm ~ 150mmx150mm

穴種

貫通(真円、楕円)

貫通(真円、楕円)

穴形状

垂直型、砂時計型、逆円錐型

垂直型、砂時計型、逆円錐型

穴深さ

貫通

100μm ~ 800μm

100μm ~ 600μm

非貫通

10um ~ 100μm

50μm ~ 100μm

穴径

貫通

50μm ~

50μm ~ 100μm

非貫通

10μm ~

50μm ~ 100μm

密着強度

8 N/cm

クロスカット試験

JIS5600K 剥がれなし

TGV+Cuめっきガラス断面図

TGV等のガラスとの組合せにより、様々な用途への展開が可能です。

用途例
  • ガラスインターポーザー
  • MEMS
  • 次世代ディスプレイ など