实现大型基板高纵横比的贯通玻璃开孔!

特长

开口率高、高宽高比的贯通孔

提供适用于液晶显示器、半导体器件、2.5D、接口(Interposer)、3D封装等的高宽高比、高开口率玻璃孔

開口率の高い、高アスペクト比の貫通孔

TGV基板的表面/断面

開口率の高い、高アスペクト比の貫通孔

TGV截面的情况

玻璃种 类无碱玻璃、碱玻璃、石英、耐热玻璃
玻璃尺寸 120mm×120mm〜730mm×920mm
玻璃厚度 0.05mmt〜1.65mmt
孔类 贯通孔(真圆、椭圆)
非贯通孔(实圆、椭圆)
孔形状 垂直孔型 砂漏型 逆圆锥型
孔径 穴径孔径垂直型 Φ1000μm以上
沙漏型Φ20〜200μm
逆圆锥型Φ20μm以上
*有板厚限制
孔间距 表面直径×10% + 15μm
孔位置精度 ±15μm以下
宽高比 最大 10:1(玻璃板厚度/孔径)
*有玻璃种类限制
砂時計型TGVの各板厚における作成可能なアスペクト比

上述图表显示了沙漏型TGV各板厚可作成的宽高比

開口率とは

用途·适用领域·应用领域

具体例
  • 2.5D接口、3D封装
  • 液晶显示器
  • 半导体器件等

镀铜玻璃

在TGV等玻璃上镀铜

与TGV一起开发,可对玻璃进行镀膜加工。承接TGV侧壁【孔壁镀膜】,孔内充填的【孔洞充填镀膜】。

孔壁镀膜
孔壁镀膜
孔洞充填镀膜
孔洞充填镀膜

高密着且高可靠性

在镀膜处理后的基板上进行交叉切割试验进行评估。镀层的铜紧密贴合,不易脱落。

镀铜玻璃规格

镀膜种类

孔洞内壁镀膜

孔洞充填镀膜

玻璃种类

无碱玻璃、碱玻璃、石英玻璃、耐热玻璃

玻璃尺寸

50mmx50mm ~ 400mmx500mm

50mmx50mm ~ 150mmx150mm

孔类

贯通(实圆、椭圆)

贯通(实圆、椭圆)

孔形状

垂直型、沙漏型、逆圆锥型

垂直型、沙漏型、逆圆锥型

孔深

贯通

100μm ~ 800μm

100μm ~ 600μm

非贯通

10um ~ 100μm

50μm ~ 100μm

孔径

贯通

50μm ~

50μm ~ 100μm

非贯通

10μm ~

50μm ~ 100μm

密着強度

8 N/cm

交叉切割试验

JIS5600K 无剥落

TGV+Cu镀层玻璃截面图

通过与TGV等玻璃之间的组配,可向不同领域扩展用途。

用途例
  • 玻璃接口
  • MEMS
  • 下一代显示器 等