实现大型基板高纵横比的贯通玻璃开孔！
特长
开口率高、高宽高比的贯通孔
提供适用于液晶显示器、半导体器件、2.5D、接口（Interposer）、3D封装等的高宽高比、高开口率玻璃孔
TGV基板的表面/断面
TGV截面的情况
| 玻璃种 | 类无碱玻璃、碱玻璃、石英、耐热玻璃 |
|---|---|
| 玻璃尺寸 | 120mm×120mm〜730mm×920mm |
| 玻璃厚度 | 0.05mmt〜1.65mmt |
| 孔类 | 贯通孔（真圆、椭圆） |
| 非贯通孔（实圆、椭圆） | |
| 孔形状 | 垂直孔型 砂漏型 逆圆锥型 |
| 孔径 |  孔径垂直型 Φ1000μm以上沙漏型Φ20〜200μm 逆圆锥型Φ20μm以上 ＊有板厚限制 |
| 孔间距 | 表面直径×10% + 15μm |
| 孔位置精度 | ±15μm以下 |
| 宽高比 | 最大 10:1（玻璃板厚度/孔径） ＊有玻璃种类限制 |
上述图表显示了沙漏型TGV各板厚可作成的宽高比
用途·适用领域·应用领域
具体例
- 2.5D接口、3D封装
- 液晶显示器
- 半导体器件等
镀铜玻璃
在TGV等玻璃上镀铜
与TGV一起开发，可对玻璃进行镀膜加工。承接TGV侧壁【孔壁镀膜】，孔内充填的【孔洞充填镀膜】。
孔壁镀膜
孔洞充填镀膜
高密着且高可靠性
在镀膜处理后的基板上进行交叉切割试验进行评估。镀层的铜紧密贴合，不易脱落。
镀铜玻璃规格
|
镀膜种类 |
孔洞内壁镀膜 |
孔洞充填镀膜 |
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|---|---|---|---|
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玻璃种类 |
无碱玻璃、碱玻璃、石英玻璃、耐热玻璃 |
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玻璃尺寸 |
50mmｘ50mm ～ 400mmｘ500mm |
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孔类 |
贯通（实圆、椭圆） |
贯通（实圆、椭圆） |
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孔形状 |
垂直型、沙漏型、逆圆锥型 |
垂直型、沙漏型、逆圆锥型 |
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孔深 |
贯通 |
100μm ～ 800μm |
100μm ～ 600μm |
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非贯通 |
10um ～ 100μm |
50μm ～ 100μm |
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孔径 |
贯通 |
50μm ～ |
50μm ～ 100μm |
|
非贯通 |
10μm ～ |
50μm ～ 100μm |
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密着強度 |
8 N/cm |
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交叉切割试验 |
JIS5600K 无剥落 |
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通过与TGV等玻璃之间的组配，可向不同领域扩展用途。
用途例
- 玻璃接口
- MEMS
- 下一代显示器 等